スパッタリングターゲット接合サービス

中国のボンディングサービスサプライヤー

インジウム接合は、熱伝導率が最も高く、ターゲットから熱を奪うのに最も効率的であるため、スパッタリングターゲットを接合するための最良の方法です。特殊なターゲット材質の場合は、エラストマー接着または電子ビーム溶接が必要です。

当社では、金属ターゲット材、複合ターゲット材ともに豊富なターゲット接合実績があり、材料の特性や使用条件に応じてお客様に最適な接合ソリューションをご提案いたします。

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ボンディングサービス

壊れやすく柔らかい材料、特にセラミックスパッタリングターゲットや軟金属スパッタリングターゲットの場合、通常、お客様はターゲットをバッキングプレートに接着する必要があります。接合はターゲット材料をサポートするだけでなく、スパッタリングプロセスからの熱の抽出（冷却）、およびマグネトロン冷却システムと真空チャンバーからのシールも提供するためです。

当社では、金属ターゲット材、複合ターゲット材ともに豊富なターゲット接合実績があり、材料特性や作業条件に応じてお客様に最適な接合ソリューションをご提案いたします。

インジウム接合の場合、インジウムの厚さは 0.2 ～ 0.3 mm に制御し、ターゲットタイル間に 0.2 ～ 0.3 mm の接合ギャップを残し、ほとんどのターゲット接合で 95% の接合率を保証できます。C-スキャンレポートはご要望に応じて入手可能です。

また、お客様のご要望に応じてバッキングプレートをカスタマイズします。必要な場合はご連絡ください。

以下の要素を考慮する必要があるバッキングプレートの材料の選択:

バッキングプレート材料とスパッタリングターゲットの熱膨張。

電気伝導性

冷却水の圧力と熱サイクルの影響に耐える機械的特性。

再利用可能

バッキングプレートの材質は通常、次の金属で作られています。

無酸素銅

最も一般的なバッキング材料は無酸素銅 (OFHC) です。これはすぐに入手できる金属であり、良好な熱伝導性と電気伝導性を備えていると同時に、機械加工も容易です。銅製のバッキングプレートは、注意すれば 20 回以上再利用できます。

モリブデンバッキングプレート

モリブデンバッキングプレートは高温での接合に適していますが、銅もひどく酸化したり反ったりする可能性があり、セラミックなど銅の膨張係数が一致しないターゲット材料にも適合します。

アルミニウム製 バッキングプレート

同様に、熱伝導率が高く、ターゲット材料の膨張係数に適合するため、拡散接合にも適しています。
ステンレス鋼。回転式スパッタリングターゲットに一般的に使用され、低コストでリサイクル可能なバッキングチューブを提供します。

また、銅亜鉛（CuZn）合金、銅クロム（CuCr）合金バッキングプレートも弊社工場でご用意しております。

私たちを選ぶ理由

当社は優れたサービス、コスト効率の高い高品質の製品を提供するだけでなく、お客様のニーズに応じて製品をカスタマイズすることもできます。
安定したサプライチェーン

確立された安定したサプライチェーンとサプライヤーとの長期的なパートナーシップにより、当社はお客様のニーズに遅滞なく対応し、資材の供給を確保します。
厳格な品質管理

世界をリードするPVDコーティング材料企業、有名な大学や研究機関から信頼されているXinkangは、PVDコーティング製品の全プロセスにおいて品質基準ISO 9001およびISO 14001に従っています。
速いリードタイム

緊急に必要な場合でも、PVD コーティング材料サプライヤーとしての品質を維持し、スケジュールに合わせて対応します。通常の製品は在庫があり、カスタマイズされた製品は 2 ～ 4 週間以内に配送されます。経験豊富なメーカーと直接連携して迅速な生産を実現します。
完全な顧客志向

当社は顧客の価値と満足を常に第一に考えているため、ほとんどの顧客と 5 年以上のパートナーシップを確立しています。
ワンストップソリューション

Xinkang は、スパッタリング材料、蒸着材料、蒸発源、およびさまざまな接合ソリューションを含む、PVD コーティング材料のあらゆるソリューションを提供できます。