太陽光発電
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太陽光発電産業では、PVD コーティング材料は主に太陽電池に使用されます。太陽電池の構造により、結晶シリコン太陽電池と薄膜太陽電池に分けられます。
 
現在、PVD コーティング技術は主に薄膜太陽電池に使用されており、主なコーティング材料はスパッタリング ターゲットです。このうち、より一般的に使用されるスパッタリングターゲットとしては、アルミニウムターゲット、銅ターゲット、モリブデンターゲット、クロムターゲット、ITOターゲット、AZOターゲット(酸化アルミニウム亜鉛、アルミナ亜鉛)などが挙げられる。
 
純度の要求は一般に99.99%以上であり、その中で導電層膜にはアルミニウムターゲットや銅ターゲット、バリア層膜にはモリブデンターゲットやクロムターゲット、透明導電層膜にはITOターゲットやAZOターゲットが使用されます。
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