アルミニウム ネオジム合金は、一般的に使用されるマグネトロン スパッタリング ターゲットです。アルミニウムの融点は 660Å、密度は 2.7、熱伝導率は 0.53 ですが、ネオジムの融点は 1024Å、密度は 7.0、熱伝導率は 0.031 です 。融点、密度、熱伝導率が大きく異なるため、真空溶解法を直接採用して製造すると、溶解過程で偏析や飛沫が発生しやすく、汚染の原因となり、合金組織が不均一になり、不純物含有量が高くなり、重大な影響を及ぼします 。合金の品質。
新康が製造するアルミニウムネオジム合金ターゲットは、高純度、高密度、均一な内部構造、小さな粒径という特徴を持っています。