アルミニウムクロム (AlCr) スパッタリングターゲット

製品

属性名

合金スパッタリングターゲット
商品名

アルミニウムクロム (AlCr) スパッタリングターゲット
元素記号

AlCr
純度

2N8,3N
形

平面

引用を要求

あるいはカル +86-731-84027969

説明

レビュー

新康が製造するアルミニウム - クロム合金ターゲットは、高度な熱間静水圧プレスプロセスを採用しています。製品には角型ターゲット、円弧型ターゲット、一体成型による大アスペクト比のチューブ型ターゲットなどがあり、幅広い組成比、高純度、高密度、結晶粒が小さく均一、長寿命などの利点があります。顧客の要求に応じて自由に調整でき、実際の密度は99%に近くなります。

アルミニウムクロムターゲットの製造工程は以下の通りです

原料 - 粉末混合 - シース加工 - 合金粉末化 - シースプレス - 熱間静水圧プレス - 金属組織検査 - ワイヤーカット - 機械加工 - 寸法検査 - 洗浄包装

アルミニウムクロム合金スパッタリングターゲットの金属組織検査

鍛造、圧延、熱処理を繰り返すことで、対象材料の組織を適切に調整し、ご要望の効果を実現します。スパッタリングターゲット材の粒径が均一であれば、良好なスパッタリングレートと均一なフロアコーティングが得られます。下の写真は、平均粒子サイズが 100μm 未満のアルミニウムクロム (AlCr 70/30at%) スパッタリングターゲットの顕微鏡金属組織検査写真です。