エルビウムはランタニド系列の化学元素で、記号は Er、原子番号は 68 です。人工的に分離された場合、天然のエルビウムは銀白色の固体金属であり、常に地球上の他の元素と化学結合して見つかります。
これは、スウェーデンのイッテルビー産の鉱物ガドリナイトに含まれる他のいくつかの希少元素と関連する希土類元素であり、イットリウム、イッテルビウム、テルビウムもイッテルビーにちなんで命名されました。
エルビウムスパッタリングターゲットは、高純度のエルビウム(Er)金属からなる銀金属ターゲットです。融点は1529です°C、沸点2863°℃、密度9.06g/cm3。純粋なエルビウム金属は展性があり(または成形が容易)、柔らかく ても空気中で安定しており、他の希土類金属ほど早く酸化しません。