鉄クロム(FeCr)合金スパッタリングターゲットの色は灰黒色です。 鉄とクロムの含有量が異なる鉄クロム合金スパッタリングターゲットを真空誘導溶解法で製造します。 産業において、鉄クロムはステンレス鋼の製造のための最も重要な原料です。 主にステンレス鋼、ボールベアリング鋼、工具鋼、窒化鋼、調質鋼、焼入れ焼き戻し鋼、浸炭鋼、耐水素鋼の製造に使用されます。 クロムはステンレス鋼において決定的な役割を果たします。ステンレス鋼の特性を決定する元素はただ 1 つだけあり、それがクロムです。 すべてのステンレス鋼には一定量のクロムが含まれている必要があります。 薄膜コーティング業界では、研究者らは純粋なクロムコーティングを置き換えるために、マグネトロンスパッタリングを使用してFeCr合金コーティングを堆積させています。これにより、深刻な汚染問題を排除し、エネルギーを節約し、クロム資源を節約でき、得られる鉄クロム合金コーティングは形成が容易です。 アモルファス構造であり、単結晶コーティングよりも優れた性能を持ち、主に研究室や自動車産業で使用されています。
分析
以下は、3N FeCr 77/23wt% スパッタリング ターゲットの一般的な分析証明書です。