パラジウムスパッタリングターゲットは、その原材料と共通の特性を持っています。パラジウムは、ロジウム、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金とともに、白金族金属と呼ばれる元素のグループを形成します。パラジウムは、プラチナに似た柔らかい銀白色の金属です。白金族金属の中で最も密度が低く、融点が最も低い金属です。焼きなましすると柔らかく延性があり、冷間加工すると強度と硬度が大幅に増加します。面心立方晶の結晶構造を持ち、常温では大気中での腐食や酸の作用に対して強い耐性を持っています。熱酸に侵され、王水に溶解します。それは多くの化合物といくつかの錯塩を形成します。パラジウムは、水素を吸収する優れた能力(自身の体積の最大 900 倍)を持っています。
パラジウムはその耐食性により、低電圧の電気接点に使用される合金に主に使用されています。パラジウムは細かく粉砕すると優れた触媒を形成し、水素化および脱水素化反応を促進するために使用されます。
パラジウムは、と呼ばれる特定の合金でジュエリーの製造に広く使用されています。“白金。”白金と合金化したり、白金の代替品として使用したりすることができます。時計の軸受、バネ、テンプホイール、科学機器の鏡などに使用されています。