バナジウムスパッタリングターゲットは、ソース材料と特性を共有します。 バナジウムは、記号 V、原子番号 23 の化学元素です。硬く、銀灰色で、延性があり、展性のある遷移金属です。 この金属元素は自然界ではめったに見つかりませんが、人工的に分離されると、酸化層の形成 (不動態化) によって遊離金属がさらなる酸化に対してある程度安定します。バナジウムは導電性と断熱性があり、ほとんどの金属や鋼よりも硬いです。 耐食性に優れ、アルカリ、硫酸、塩酸に対しても安定です。 酸化物不動態層は室温でも形成されますが、空気中では約 933 K (660 °C、1220 °F) で酸化されます。
バナジウムスパッタリングターゲットは溶解技術により製造されます。 酸化バナジウムは非常に特殊な光学的および電気的特性を備えているため、赤外線インテリジェントウィンドウ、電気光学スイッチデバイス、レーザー保護材料およびステルス材料として応用できます。 最大 3N の純度と特別なアニーリング処理、均一な粒径、および低いガス含有量により、エンドユーザーは PVD プロセス中に一定の浸食速度と高純度で均質な薄膜コーティングを得ることができます。
下の写真は、平均粒径<100μmのバナジウムスパッタリングターゲットの2枚の顕微鏡写真です。