太陽光発電 | 新港マテリアル

太陽光発電産業では、PVD コーティング材料は主に太陽電池に使用されます。太陽電池の構造により、結晶シリコン太陽電池と薄膜太陽電池に分けられます。

現在、PVD コーティング技術は主に薄膜太陽電池に使用されており、主なコーティング材料はスパッタリングターゲットです。このうち、より一般的に使用されるスパッタリングターゲットとしては、アルミニウムターゲット、銅ターゲット、モリブデンターゲット、クロムターゲット、ＩＴＯターゲット、ＡＺＯターゲット（酸化アルミニウム亜鉛、アルミナ亜鉛）などが挙げられる。

純度の要求は一般に99.99％以上であり、その中で導電層膜にはアルミニウムターゲットや銅ターゲット、バリア層膜にはモリブデンターゲットやクロムターゲット、透明導電層膜にはITOターゲットやAZOターゲットが使用されます。

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